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蓝宝石抛光液的固相机理

文章出处:深圳市中环环保科技有限公司 人气:发表时间:2018-06-10 12:35:32

单晶蓝宝石与二氧化硅在无外加能量情况下两者之间很难产生固相化学反应,而在外加能量情况下(如抛光、烧结),且能量超越二氧化硅与单晶蓝宝石之间所需的活化能而产生固相化学反应。蓝宝石与SiO2的接触界面上的真实接触点产生的压力取决于SiO2的硬度,1070K时为3.8GPa,1207K时为2.4Gpa,两者在大气压下生成富铝红柱石(也称为莫来石,3α-Al2O3·2SiO2),高压下生成蓝晶石(Al2O3·2SiO2)。 
其反应式如下: 
3α-Al2O3+6SiO2——3α-Al2O3·2SiO2(富铝红柱石) 
α-Al2O3+SiO2——α-Al2O3·SiO2(蓝晶石) 
α-Al2O3·SiO2硬度为6.5~7.0,利用SiO2磨料可以去除固相反应生成的富铝红柱石软质层,而对母体蓝宝石不会产生划痕等表面损伤。为加快上述固相反应的反应速率,除提高界面温度和增加压力外,还可以通过添加催化剂的方式,向蓝宝石添加熔点低的MgF2在煅烧6h的条件下可实现莫来石的低温合成。 
蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。 
蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。 
蓝宝石抛光液的特点: 
1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。 
2.高纯度(Cu含量小于50ppb),有效减小对电子类产品的沾污。 
3.高平坦度加工,蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。 
蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。  经过这样的介绍大家对蓝宝石抛光液也有了一定的了解,所以在选择蓝宝石抛光液厂家的时候就知道要注意些什么。