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蓝宝石抛光液厂家介绍二氧化硅抛光液

文章出处:深圳市中环环保科技有限公司 人气:发表时间:2018-05-12 11:49:58
我公司系列蓝宝石抛光液厂家,经特别工艺出产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种资料纳米级的高平整化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体资料砷化镓、磷化铟,精细光学器材、蓝宝石片等的抛光加工。具有使用领域广、抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特色。如:硅片、化合物晶体、精细光学器材、宝石等的抛光加工。可出产不同粒度(10~150 nm)的产品满足用户需求。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
产品的特色:
    1. 高抛光速率,使用大粒径的胶体二氧化硅粒子到达高速抛光的目的(能够出产150 nm)
    2. 粒度可控,根据不同需要,可出产不同粒度的产品(10-150 nm)
    3. 高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有用减小对电子类产品的沾污
    4. 高平整度加工,本品抛光是使用SiO2的胶体粒子,不会对加工件形成物理损害,到达高平整化加工
 抛光液基本性质
碱性型号
pH:9.8±0.5
SOQ-2
SOQ-4
SOQ-6
SOQ-8
SOQ-10
SOQ-12
酸性型号
pH:2.8±0.5
ASOQ-2
ASOQ-4
ASOQ-6
ASOQ-8
ASOQ-10
ASOQ-12
粒径(nm)
10~30
30~50
50~70
70~90
90~110
110~130
外观
乳白色或半透明液体
密度(g/ml)
1. 15±0.05
 
抛光液组成
成份
含量(w%)
SiO2
15~30
Na2O
≤0.3
重金属杂质
≤50 ppb
 
抛光参数(参考值)
抛光压力
150~250 g/cm2
抛光温度
32~40 ℃
稀 释 率
<1:1~20
抛光时刻
3~6 min
 
注:本抛光参数只适用于硅片的抛光。
包  装:500 ml/瓶,25 Kg/桶,或200 Kg/桶。
储  存:贮存温度0~35 ℃,在0 ℃以下因发生不可再分散凝胶而失效,温度高于35 ℃条件下贮存会促使微生物成长和加快凝胶化,缩短储藏期。上述条件下碱性抛光液可寄存两年左右,酸性抛光液可寄存半年左右。       
 
使用范围:
1、硅晶圆片抛光;锗片抛光;砷化镓抛光;磷化铟抛光;光学晶体抛光;蓝宝石衬底抛光;LED衬底抛光;

2、硒化锌抛光;光纤连接器抛光;光纤跳线抛光;玻璃抛光;石英抛光,CMP抛光液;